等离子清洗机：是一款用于表面处理的低温等离子表面改性设备。广泛应用于等离子清洗、刻蚀、镀、涂覆、灰化和表面改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿程度，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作。等离子清洗是一种轻微的刻蚀，等离子体的表面清洗能很快去除金属表面的油脂、油污等有机物和氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、键合、焊接、铜焊、pvd、vcd和涂覆前，用等离子处理能得到完全的洁净和无氧化层的表面。
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等离子清洗机设备的原理是在真空状态下，利用射频辐射使得氧、氩、氮、四氟化碳等气体生成具有高反应活性的离子与器件等反应形成挥发性化合物，然后由真空系统将这些挥发性物质清除出去。
等离子清洗机设备应用于刻蚀硅片边沿的硅鳞层，扩散过程中，不但硅片的表面扩散上了磷，硅片边缘也扩散上了磷，这会导致硅片正反两极通过边缘导通短路。所以必须将硅片边缘这层被扩散上的硅磷去掉，大概去除1-3um。硅片在刻蚀机内水平旋转，通入的反应气体为四氟化碳、氧气和氮气。其原理是在放电状态下反应气体四氟化碳、氧气和硅片边缘的硅发生反应，反应形成粉末和气态物质后随气流一起被抽走等。
等离子清洗工艺流程图
产品技术规格介绍
qt-60-psp中型等离子清洗机规格
主要技术参数：
1) 整机外形尺寸（约）: 900w×1700h×1000d（mm） 外观喷塑处理；
2) 反应仓尺寸： w450mm×h300mm×d450mm；
3) 电源：主系统电源: 380×(1±10%)v(ac) 50hz～60hz 三相五线
4) 等离子体频率：13.56mhz；
5) 射频电源功率：（0～600）w连续可调；
6) 设备功率：≤3kw
7) 控制方式：采用包括触摸屏人机界面的plc控制，操作方式包括自动模式和手动模式。在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理，可同时存储100组不同的配方。使用时只需要将相应配方号调出即可。设备参数分级管理，设备操作员、工艺人员、维护人员使用不同口令管理不同参数，提高设备安全性。手动模式用于实验工艺以及设备维护维修。
8) mfc质量流量计控制（标准配置2路）
9) 气体流量：(0～200)ml/min （标准气压,0℃）
10)工作气体(氧、氩等)接口压力：≤0.45mpa
11)压缩空气（启动气动角阀）接口压力：0.45mpa
12)净化冷却气体（氮气）接口压力：0.45mpa
13)设备工作节拍：单次清洗时间≤6min（反应时间180s左右）
14)工作真空度：10～150pa
qt-80-psp中型等离子清洗机规格
主要技术参数：
1) 整机外形尺寸（约）: 900w×1700h×1000d（mm） 外观喷塑处理；
2) 反应仓尺寸： w600mm×h350mm×d395mm；
3) 电源：主系统电源: 380×(1±10%)v(ac) 50hz～60hz 三相五线
4) 等离子体频率：13.56mhz；
5) 射频电源功率：（0～600）w连续可调；
6) 设备功率：≤3kw
7) 控制方式：采用包括触摸屏人机界面的plc控制，操作方式包括自动模式和手动模式。在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理，可同时存储50组不同的配方。使用时只需要将相应配方号调出即可。设备参数分级管理，设备操作员、工艺人员、维护人员使用不同口令管理不同参数，提高设备安全性。手动模式用于实验工艺以及设备维护维修。
8) mfc质量流量计控制（标准配置2路）
9) 气体流量：(0～200)ml/min （标准气压,0℃）
10)工作气体(氧、氩等)接口压力：≤0.45mpa
11)压缩空气（启动气动角阀）接口压力：0.5mpa
12)净化冷却气体（氮气）接口压力：0.45mpa
13)设备工作节拍：单次清洗时间≤8min（反应时间240s左右）
14)工作真空度：10～150pa
ze:11.0pt;font-family:宋体'>工作真空度：10～150pa
qt-100-psp中型等离子清洗机规格
主要技术参数：
1) 整机外形尺寸（约）: 900w×1700h×1000d（mm） 外观喷塑处理；
2) 反应仓尺寸： w450mm×h500mm×d450mm；
3) 电源：主系统电源: 380×(1±10%)v(ac) 50hz～60hz 三相五线
4) 等离子体频率：13.56mhz；
5) 射频电源功率：（0～600）w连续可调；
6) 设备功率：≤4kw
7) 控制方式：采用包括触摸屏人机界面的plc控制，操作方式包括自动模式和手动模式。在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理，可同时存储100组不同的配方。使用时只需要将相应配方号调出即可。设备参数分级管理，设备操作员、工艺人员、维护人员使用不同口令管理不同参数，提高设备安全性。手动模式用于实验工艺以及设备维护维修。
8) mfc质量流量计控制（标准配置2路）
9) 气体流量：(0～200)ml/min （标准气压,0℃）
10)工作气体(氧、氩等)接口压力：≤0.5mpa
11)压缩空气（启动气动角阀）接口压力：0.5mpa
12)净化冷却气体（氮气）接口压力：0.5mpa
13)设备工作节拍：单次清洗时间≤8min（反应时间180s左右）
14)工作真空度：10～150pa
qt-120-psp中型等离子清洗机规格
主要技术参数：
1)整机外形尺寸（约）:l1335×w1080×h1836（mm） 外观喷塑处理
2) 反应仓尺寸：不锈钢l470mm×w450mm×h610mm
3) 电源：主系统电源: 380×(1±10%)v(ac) 50hz～60hz 三相四线
4) 等离子体频率：13.56mhz
5) 射频电源功率：（0～600）w可调
6) 设备功率：≤4kw
7) 控制方式：采用包括触摸屏人机界面的plc控制，操作方式包括自动模式和手动模式。在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理，可同时存储100组不同的配方。使用时只需要将相应配方号调出即可。设备参数分级管理，设备操作员、工艺人员、维护人员使用不同口令管理不同参数，提高设备安全性。手动模式用于实验工艺以及设备维护维修。
8) mfc质量流量控制（标准配置2路）
9) 气体流量：(0～200)ml/min （标况下）
10)工作气体(氧、氩等)接口压力：≤0.5mpa
压缩空气（启动气动角阀）接口压力：0.5mpa
净化冷却气体（氮气）接口压力：0.5mpa
11）设备工作节拍：单次清洗时间≤8min（反应时间3min）
12）工作真空度：10～150pa
广东启天自动化智能装备股份有限公司