含有硅烷及氨丨气等成分的混合废气通过管道进入不锈钢硅烷燃烧塔中，在燃烧塔内部的燃烧室内硅烷气体与通入的压缩空气接触燃烧，燃烧后产生的二氧化硅粉尘沉积从燃烧室底部的排渣口排出，而含有氨丨气的其他废气进入喷淋洗涤室。在喷淋洗涤室中，氨丨气与循环液发生反应而被处理掉，处理完的气体经脱液室脱液处理后由抽风机抽出，最后通过排放烟囱排入大气，排出气体达到gb14554-93《恶臭污染排放标准》标准。当pe丨cvd发生故障而出现应急排放时会排出大量的纯硅烷，为了提高系统处理应急排放时的废气处理能力，本系统在燃烧塔前接二个不锈钢硅烷应急燃烧筒。
从pe丨cvd工艺设备出来的废气主要为硅烷及氨丨气。硅烷是一种可燃性气体，并且易自燃（接触空气后就会燃烧），而氨丨气是一种可溶性气体，处理这些混合废气分两步走：先燃烧后喷淋吸收。本项目选择一套hwr-6型不锈钢硅烷燃烧塔，pe丨cvd的工艺废气设备具体处理过程
2、扩散工艺废气分析
扩散工艺涉及废气排放的设备主要是：扩散炉、石英管清洗机、石墨舟清洗机等。扩散炉排出的废气是酸性废气及热废气，本项目酸性废气主要为含氯废气，如氯丨气等。石英管清洗机、石墨舟清洗机产生的废气主要为含氟丨化丨氢及氯丨化丨氢成分的酸性气体
1、制绒工艺废气分析
在制绒工艺过程中，废气源主要为制绒及清洗设备，废气种类因工艺不同而有区别，主要废气为氮氧化物、氟丨化氢丨气体（多晶工艺）；碱蒸汽及醇类（单晶）。
废气处理的因素有以下几点：
一、能有效去除工厂车间产生的苯、甲苯、二甲苯，醋丨酸乙酯，，乙醇，丙丨烯酸，甲醛等有机废气，硫化氢，二丨氧化硫，氨等酸碱废气处理。
二、要看行业主管部门如何推荐。作为行业主管部门的推荐可信度比较高。
三、要看废气处理的原理。比较多的废气处理方式有活性炭吸附法、高温催化燃烧、冷凝法、湿式回收法、生物法等等，
四、要看成功案例。市场的公司大多都会有许多成功案例。

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