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爪式泵可在化学工业、蒸馏、干燥工艺等生产过程中应用。例在某些 cvd 过程中反应出现的易燃易爆气体可以用这种方法来抽除。通过引入惰性气体 ( 通常为 n2 气 ) 可以将反应气体的浓度降到可燃性限制值以下。
当用爪式泵抽除含化学溶剂蒸汽或气体液体混合物时,可在泵排气口设置气体冷却冷凝器,被压缩和加热的工艺气体通过排气通道进入气体冷却冷凝器内,其中的化学溶剂或液体被冷凝回收,冷却后的气体大部分被排放掉,少量所需要的处于排气压力下的冷却气体被泵重新回抽入泵腔压缩级,而位于泵腔排气级侧的冷却气体入口在压缩腔的容积减小过程开始前被打开,冷却气体连续流入压缩腔内与先前吸入的工艺气体混合直至达到排气压力。
只有此过程完成后,转子才将排气口打开,将混合气体排到气体冷却冷凝器中,进行下一次循环。为防止由于泵腔内进入冷却气体而增加泵抽除的工艺气体总量,将泵与气体冷却冷凝器形成闭循环的冷却回路,泵从过程中将所需要量的冷却气体从冷却冷凝器的末端回抽入压缩腔。
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